德国LINSEIS林赛斯TFA 薄膜物性分析仪

德国LINSEIS林赛斯TFA 薄膜物性分析仪

德国LINSEIS林赛斯TFA 薄膜物性分析仪

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德国LINSEIS林赛斯TFA 薄膜物性分析仪详细说明


物理特性薄膜表征系统,高度集成且易于使用的测量平台。

薄膜的物理性质不同于大块材料,因为由于尺寸较小和高纵横比使寄生表面效应更强!

该系统的一大优点是在一次测量运行中同时确定各种物理特性。所有测量都采用相同(平面内)方向,并且具有很高的可比性。


基本测量单元 :

 

测量室,真空泵,带加热器的支架,电子颊侧装置,集成锁相放大器,3w方法分析软件,计算机和应用软件。可测以下物理参数:

 

• λ - 热传导系数 (稳态法/平面内方向)

• ρ - 电阻率

• σ - 电导率

• S - 赛贝克系数

•  ε – 发射率

• Cp - 比热容

 

磁测量单元

 

可根据需求选择集成式电磁铁,可测物理参数如下:

• AH - 霍尔常数

• μ –迁移率

• n -载流子浓度

 

薄膜材料性能有别于块体材料之处

       因小尺寸和高纵横比所导致的表面效应如:边界散射和量子限域效应

德国LINSEIS林赛斯TFA 薄膜物性分析仪产品规格



型号TFA–薄膜物性分析仪
温度范围RT 至 280°C
-170°C 至 280°C
样品厚度从 5 nm 至 25 µm (根据样品)
测量原理基于芯片(预制测量芯片,每盒24个)
沉积技术包括:PVD(溅射、蒸发),ALD,旋涂,喷墨打印等
测量参数导热系数 (3 ω)
比热
可选模块电导率/电阻率,赛贝克系数,霍尔常数/迁移率/电荷载流子浓度,
电磁铁1t或永磁铁0.5t
真空10-5mbar
电路板集成
接口USB
导热系数0.05 至 200 W/m∙K
电阻率0.05 至 1∙106 S/cm
赛贝克系数5 至 2500 μV/K
导热系数± 7% (大多数材料)
± 10% (对于大多数材料)
电阻率± 3% (对于大多数材料)
± 6% (对于大多数材料)
赛贝克系数± 5% (对于大多数材料)
± 7% (对于大多数材料)




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